产品系列

Product Series

MOCVD加热器用中圈加热片

产品介绍


钨是稀有高熔点金属,高温强度和抗蠕变性能以及导热、导电和电子发射性能都很好。纯钨产品纯度可达到99.97%以上,密度可达19.35 g/ cm³,为理论密度的99.9%。

通过对纯钨材质进行合金化处理,可以有效的提升钨材料的高温抗蠕变性能,更好的应用于加热片。

 

 

 

产品应用


外延设备MOCVD半导体层需要尽可能的发出相同波长的光芒。而达到这一目标的一项重要条件是在MOVCD系统中实现均匀的温度分配。温度剖面中的任何差异都会在随后发光时导致变色。我们的工程师通过复杂的有限元计算模拟了各个系统的MOVCD工艺并对自己生产的加热元件做出了相应改进,新型元件能够在反应器中提供更加均匀的温度分配。

MOCVD加热器中,加热片被加热至超过2000℃,要保证加热片超长的使用寿命,安泰研发了新型合金材料来提高加热片的高温抗蠕变性能,长周期使用几乎不变形,还研发出了安泰特殊工艺的涂层技术,达到增大加热片表面粗糙度的效果,增加表面发射率,降低工作温度,最终实现增加使用寿命的目的。

 

产品规格


具备各主流厂商MOCVD机台型号的各种钨加热片供您选择,同时也可根据您的机台温场设计来定制。

 

制作工艺


公司优势


新型合金提高高温抗蠕变性能。

通过有限元计算模拟温度均匀性。

配套半导体行业的清洁操作空间。

表面涂层技术提高表面发射率,提升产品寿命。

联系方式

黎宏涛


+86-10-58717301


lihongtao@atmcn.com


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