产品系列

Product Series

钼溅射靶材

产品介绍


钼具有高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能,使得钼溅射靶材可通过磁控溅射工艺在各类基材上形成钼涂层,这种钼涂层广泛应用于电子部件和电子产品,要求靶材必须符合最严格的质量标准。我们生产的靶材具有以下特点:

超高纯度

靶材的纯度越高,PVD过程中出现异常颗粒的几率越小,溅射薄膜的性能越好。材料中的杂质是沉积薄膜的主要污染源,必须严格控制。我们生产的纯钼靶钼含量不低于99.97%,可充分保证溅射薄膜的品质,从而确保每个像素点均能发挥完美功能。

超高密度

高密度的靶材溅射效率高,可提高单位时间内的溅射面积。我们通过大的轧制变形量,实现钼靶材几乎100%的致密度,密度可达到10.2g/cm3,可极大地避免固体中的气孔突然释放造成的微粒飞溅,从而提高薄膜品质。

细小且均匀的晶粒度

对于同一种靶材,晶粒细小的溅射速率更快,晶粒分布均匀的溅射靶材沉积的薄膜厚度更均匀。我们通过特殊工艺生产的靶材晶粒度细小且均匀。

广泛的靶材种类选择

我们可为您提供的钼溅射靶材有很多种类,按形状可分为钼方靶,钼条靶和钼管靶。按材质分类可分为纯钼靶和钼合金靶。

在钼中添加Nb、Ni、Ti等合金元素后的溅射靶材,比用纯钼靶材所镀膜层具有更好的耐腐蚀性及膜附着力,从而可以提高平板显示电子产品的使用寿命、使用可靠性及用户体验度。随着平板显示器在显示领域的日渐普及以及用户对产品要求的提高,钼合金靶材作为一种新型的溅射靶材,正在逐步替代传统的纯钼靶材,用量也在日益增加,特别是对高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的需求增加更快。安泰天龙通过数年的研究开发工作,自主开发了满足高端用户需求的钼合金靶材,已获多项国家发明专利,具有完全自主知识产权。

 

 

产品应用


钼溅射靶材的应用主要集中在平面显示器、CIGS太阳能电池电极和布线材料以及半导体阻挡层材料等方面,基于钼材料的高熔点、高电导率、低比阻抗、良好的耐腐蚀性和环保性能,可以大大提高显示器的亮度、对比度、色彩和寿命等性能。

 

产品规格


钼溅射靶材产品代系划分依据玻璃基板尺寸划分而来,板靶产品根据形状可分为方形和条形两类。受制于制备水平,G6及以下靶材产品多为方形形状,G6以上产品多为条形或管形,然后使用拼接工艺拼接后进行使用。

安泰天龙可提供全世代线(G3-G10.5)的靶材,装备有难熔金属领域的先进超大型轧机- 2100mm单机架四辊可逆热轧机,可以生产目前平板显示市场需要的尺寸最大的G6大方靶和G10.5长条靶以及G8.6旋转靶。

主要世代面板尺寸及所需钼靶材规格

世代

玻璃尺寸/mm

切割尺寸/英寸

片数/片

靶材尺寸/mm

靶材类型

G3

550*650

15

4

950*860*16

钼方靶

G4

680*880

15

6

980*1150*10

钼方靶

G5

1100*1300

27

6

1700*1431*12

钼方靶

G5.5

1300*1500

27

8

1950*1580*14

钼方靶

G6

1500*1850

32

8

2300*1800*14

钼方靶

37

6

2300*195*16

钼条靶

G8.5

2200*2500

55

6

2650*210*18

钼条靶

G8.6

2250*2600

58

6

OD167.2*ID135.1*2692

钼旋转靶

G10.5

2940*3370

65

8

3430*200*18

钼条靶

制作工艺


公司优势


具备全世代线规格靶材的研发生产能力。

充足的产能和备货为您的生产需求保驾护航。

有效行程4000mm*2000mm的大尺寸无损探伤设备,确保产品无缺陷出厂,达到您期望的完美镀膜效果。

严格稳定的质量控制,确保出厂产品具备99.97%以上极高纯度、小于100μm的晶粒度、10.2g/cm³(>99%)以上的高致密度。

联系方式

季鹏飞


+86-10-58717301


jipengfei@atmcn.com


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